.jpg)
雙軸研磨機可覆蓋多元半導體與光學晶體加工需求,既能處理常規矽基、鍺基晶圓、砷化镓、磷化銦化合物襯底;也適配碳化矽、氮化镓等第三代寬禁帶材料,像铌酸鋰傳感晶體、金剛石襯底、碲鋅鎘紅外基材都能穩定加工,適配功率器件、光通信傳感多條細分產業鏈。
雙軸研磨機搭載兩套獨立 10 寸金剛石磨輪主軸,依靠高精度伺服直線模組帶動真空載台往複走位,單台設備無需轉運工件,同步完成餘量粗去除與表麵精密整平。
設備載盤支持按需定製,搭配無接觸實時厚度監測模塊,全程動態校正磨削量,尺寸控製精度穩定可靠,閉環光柵反饋進一步縮小加工誤差。
雙軸研磨機全封閉機身阻擋磨料粉塵附著工件,三菱可編程控製器搭配觸控操作界麵。兩套磨輪獨立伺服驅動,運轉區間可調,模塊化傳動配件拆裝簡單,減少產線停機維護時長。
在國內半導體自主化大趨勢下,加工廠選購裝備不再隻看加工精度,更重視設備通用性與長期運行穩定性。
標準化雙軸研磨機整體機身厚重剛性足,運行振動幅度低,加工厚度覆蓋 0.1 至 10 毫米區間,既能支撐實驗室少量試樣打磨,也適配標準化批量生產線,為各類超薄精密晶體基材加工提供穩定工藝保障。








(1).jpg)
(1).jpg)
