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矽片在減薄工序後，表麵會殘留損傷層並存在厚度不均的問題。

矽片91免费观看网站通過同步加工上下兩個表麵，在去除損傷層的同時，實現全局厚度的均勻修正，為後續拋光工序提供合格的基底。

該設備采用行星式運動結構，矽片置於內齒圈與太陽輪之間的遊星輪內，在上下研磨盤的同步壓力下公轉與自轉。這種運動方式確保矽片表麵每一點與研磨盤的接觸軌跡均等，從而獲得極高的平行度與厚度一致性。

壓力控製采用氣動閉環係統，可精確設定並維持研磨壓力，確保不同批次矽片的材料去除率穩定。研磨盤平麵度由金剛石修整環定期修正，保證加工基準的長期精度。

矽片91免费观看网站適用於4/6/8英寸矽片的高效批量化加工，是實現晶圓納米級平坦化的關鍵前道工序設備。